而影响超精密加工精度的主要因素包括超精密机床、超精密加工工具、超精密加工工艺、被加工材料、夹具、在线检测与误差补偿、超精密加工环境。
从这些方面也可以看出来,想要制造出超精密数控机床,需要突破的技术很多很多。
几乎可以说是需要将各个领域的最新技术成就集成起来,才有可能实现超精密加工。
那么这一点,以振华研究所在内地科学界的地位,自然还是可以实现的。
将全国最顶尖的那些领域内的七八级技术工人,聚集到振华研究所,就为了研制出超精密数控机床,光是弄成这件事儿,就需要花费不少的时间和精力。
如果一直有陈国华帮忙压制着,那么这还不算是什么难事儿。
可关键是,陈国华他太忙了。
导致章济川、薛晋权、陆子敬他们每次都需要花费不少的时间来跟这些七八级技术工人沟通协调。
年轻人嘛,跟那些老年人进行沟通的时候,总是会有代沟的。
在这个时代,能够成为七八级工人的老师傅,哪个不是四五十岁的人?
也因此如此,沟通成本就很大,浪费了不少时间,这也是拖慢整体研发进度的原因之一。
现在陈国华是有时间,但他不可能还有时间跟那些七八级工人面对面地沟通啊。
所以,等下会议结束之后,剩下的事儿,还是需要章济川他们来搞掂。
“好了,这就是你们要问的超精密数控机床.还有没有其他问题?”
扫了一眼实验室墙壁上的大钟,陈国华这才发现,已经中午放饭时间了。
看着还在举手想要提问的赵菊生,陈国华不由感慨:真的是问题多多啊!
一块透镜罢了,背后涉及到了诸多的技术难关。
搞掂超精密数控加工机床之后,又还有高精度的检测装置,同时还有一个最为难以通过的难关:打磨透镜。
甭以为有了这么牛逼的设备和装置,就可以高枕无忧了,随时都可以打磨出符合极紫外光刻机要求的透镜了。
没那么简单!
要知道,极紫外光刻机需要的透镜,精度之高,前所未有。
只因为极紫外光刻机需要通过精准控制激光器,连续两次照射滴落的液态小锡球,才能够得到波长十三点五纳米的稳定极紫外光。
可是这时候的光源并不能直接拿来使用,还需要经过一系列发射镜片不断地矫正,才能成为可用光源。
在每次反射的时候,都会增加误差,这就要求镜面的平整度极高极高,必须比光刻尺度还要低上一千倍。
可怕的数据要求!
同时,对每块透镜的位置、姿态、间距都有严格的要求,比如位置误差必须小于一纳米。
最后,也是最关键的一点,还必须要尽量消除光损失而产生的热量,以防止热变形从而影响光路。
即便如此,极紫外
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